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電子級多晶硅實現“中國造

編輯部 | 2017/6/7 10:07:12

電子級多晶硅實現“中國造
多晶硅是微電子行業和光伏產業的“基石”,是信息產業和新能源產業最基礎的原材料。一般電子級硅要求含Si>99.9999%,電子級多晶硅則要求達到9個“9”以上。作為戰略性原材料,電子級多晶硅的生產技術和市場長期由國外壟斷,制約我國集成電路產業、新能源產業、新材料產業的發展。
5月24日,國家電投黃河水電新能源分公司正式推出國產高純電子級多晶硅產品——“黃河水電多晶硅”,實現了電子級多晶硅的“中國制造”,打破國外壟斷格局。
 
填補國內空白
 
國內首條電子級多晶硅生產線的出現,經歷了近10年的時間。
據黃河公司新能源分公司總經理劉剛介紹,“黃河水電多晶硅”的研發工作正式開始于2006年,于2010年全面投產,形成的2500噸高純電子級多晶硅產能,填補了國內空白,目前國內市場占有率達10%。2015年,黃河水電多晶硅完成國家科技重大專項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》(即“02專項”)全部技術指標要求。
“黃河水電多晶硅”采用改良西門子法,年產達2500噸電子級多晶硅,實現完全閉路循環,節能低耗、安全環保,其氧含量<0.02ppma,碳含量<0.02ppma,受主雜質<0.03ppba,施主雜質<0.05ppba,基體總金屬雜質<2ppbw,經第三方權威檢測機構檢測,產品質量與德國、日本知名多晶硅質量相當。
“攻克電子級多晶硅的關鍵要素包括很多方面,對工藝、設備管道選型、儀表選型、潔凈室等級都有嚴格的要求,在施工及檢修時,需要按照最高潔凈等級規范,在原輔材料、中間產品、輔助氣體和介質方面也要進行完善的質量體系控制。”劉剛補充,“每一個細小環節都需要長期的實驗積累有效的數據,從中找出制約質量提升的因素。”
來自重慶的某下游企業負責人告訴記者:“設備可以階段性引入,但材料必須是連續性的,我們曾遇到過某外國廠商的突然斷供,造成了很大損失。如果關鍵材料可以實現國產化,我們可以減少很多后顧之憂。”

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